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          RTP-小型快速退火爐

          更新時間: 2019-11-20

          訪問次數: 884

          產品報價:

          產品簡介: 產品應用:該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗 。

          詳細資料:

          產品應用:

          該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、

          快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗

           

          產品特點:

          可在真空/氣氛/空氣等不同環境下通過快速移動爐體,加之強風冷設計,可對樣品進行快速升降溫處理;管內測溫設計,

          溫控精度高,大升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設計,快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。

          產品名稱

          RTP-小型快速退火爐

          產品型號

          RTP-G11103-K

          額定功率

          9KW

          額定電壓

          220AC 50/60Hz

          極限溫度

          1000°C 

          連續工作

          950°C(<1 小時)

          加熱區長度

          300mm

          恒溫區長度

          100mm

          加熱元件

          紅外燈管

          溫度控制

          國產程序控溫系統可編程50段程序控溫;

          控制精度

          ±1℃

          石英管尺寸

          Φ110*380MM

          爐管材質

          石英管

          滑動距離

          355mm

          滑動方式

          手動滑動

          建議升溫速度

          室溫900℃:30℃/sec
          900℃~1000℃: 10℃/sec

          外形尺寸

          950 X 350 X 530 mm 

          重量

          45Kg

          標準配置

          氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。

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